高頻壓力傳感器是一種能夠測量高速變(bian)化的(de)壓(ya)力信號的(de)傳感(gan)器(qi)。它有(you)多(duo)種類型和結構,其中一種常見的(de)是MEMS壓(ya)力傳感(gan)器(qi)。
它的工作原理是(shi):
壓力傳(chuan)感器利用(yong)壓阻效應原理,即當(dang)材料受(shou)到應力時(shi),其電阻值(zhi)會發生變(bian)化;
壓力傳感器采(cai)用三維(wei)集成(cheng)電路工藝,在單晶硅片薄膜上(shang)制(zhi)成(cheng)四個(ge)應變(bian)電阻(zu),構成(cheng)一個(ge)惠斯通檢測電橋;
當被測介質施加(jia)壓(ya)力時,橋壁(bi)電阻值發生變化,產(chan)生一個差動電壓(ya)信號;
這個信(xin)號經專(zhuan)用放大和濾波處理后,輸出一個與(yu)壓(ya)力成(cheng)正比的模(mo)擬或數字信(xin)號。
壓力傳感器(qi)具有體積小、重量輕、響應速度快、靈敏度高等特(te)點(dian),適用(yong)于汽車、航空、醫療等領域的(de)高頻(pin)動態壓力測量。
